1
研磨装置
浜井産業製研磨装置13B～32Bを取り扱っております。ほとんどの中国半導体ウェーハ製造メーカーに納入実績があります。
16BFタイプ研磨機
22BF(4M5L)タイプ研磨機
32BNE(3M5L)タイプ研磨機
2
研磨定盤
業界最高水準黒鉛鋳物定盤・修正キャリア(16B～32B)及び研磨周辺消耗品を取り扱っております。
研磨定盤
修正キャリア
ワーク加工キャリア
3
真直度測定器
研磨定盤の平坦度を面形状で管理できる測定器です。上下定盤の測定が可能で測定距離は、1000㎜～3500ｍｍです。
真直度測定機と周辺機器
4
研磨スラリー回収再生装置
シリコンウェーハ研磨後の使用済みのスラリーから使用可能な研磨材を回収して再利用可能な正常に再生する装置です。
スラリー回収再生装置
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